11月24日，國儀量子（合肥）技術(shù)有限公司召開電子顯微鏡新品發(fā)布會，基于我國制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級的長期發(fā)展戰(zhàn)略，推出了世界上首臺分辨率達(dá)到2.5納米的商用可量產(chǎn)鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3300，突破了這一技術(shù)長期以來的技術(shù)瓶頸。
電子顯微鏡利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的物理、化學(xué)性質(zhì)，如形貌、成份、結(jié)構(gòu)等信息，是材料研究、質(zhì)量控制與失效分析等領(lǐng)域應(yīng)用的強(qiáng)大工具。
鎢燈絲掃描電鏡具有性價比高、易于維護(hù)、操作相對簡單以及對場地要求較小等特點(diǎn)，便于大眾使用。但長期以來，鎢燈絲掃描電鏡的分辨率都停滯不前，難以實(shí)現(xiàn)用戶對更高分辨率的追求。
國儀量子電子顯微鏡技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對這一技術(shù)瓶頸開展了科研攻關(guān)，通過分析限制鎢燈絲掃描電鏡分辨率的主要因素，開創(chuàng)了在鏡筒內(nèi)增加一根從陽極直達(dá)物鏡極靴的10千伏高壓管（高壓隧道技術(shù)）的解決方案，并實(shí)現(xiàn)了在所有電壓段的分辨率均大幅度超越普通鎢燈絲電鏡。
據(jù)悉，鎢燈絲掃描電鏡SEM3300在20千伏分辨率達(dá)到2.5 納米，比普通鎢燈絲電鏡提高了16%，成為了目前世界上分辨率*高的鎢燈絲掃描電鏡；同時，作為鎢燈絲掃描電鏡“王者”，SEM3300在任意電壓下都表現(xiàn)出*的分辨力——在3千伏分辨率達(dá)到4 納米，相比普通鎢燈絲電鏡提高了2倍；在1千伏分辨率達(dá)到5 納米，相比普通鎢燈絲電鏡提高了3倍，滿足了更多材料的分析測試需求。
同時，國儀量子還推出了鎢燈絲掃描電鏡SEM2000和場發(fā)射掃描電鏡SEM4000。
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